HMDS預處(chu)理(li)真(zhen)空幹(gan)燥(zao)箱，又稱TDM系(xi)列真(zhen)空鍍(du)膜幹(gan)燥(zao)箱，是(shi)壹種專用於半(ban)導(dao)體(ti)、光(guang)電(dian)、微電(dian)子等領域(yu)中(zhong)光(guang)刻前處(chu)理(li)工(gong)藝的(de)專用設備(bei)。其主要(yao)功(gong)能(neng)是(shi)在真(zhen)空環境下(xia)將(jiang)六(liu)甲(jia)基(ji)二矽氮烷（HMDS, Hexamethyldisilazane）以蒸(zheng)汽(qi)形(xing)式沈(chen)積(ji)於基材(cai)表面，從而(er)改(gai)善基材(cai)表面親(qin)水性(xing)，提高光(guang)刻膠(jiao)與基底的附(fu)著(zhe)力(li)，確(que)保(bao)後續微圖(tu)形工(gong)藝的(de)質(zhi)量(liang)與穩(wen)定(ding)性(xing)，喆圖(tu)預處(chu)理(li)真(zhen)空幹(gan)燥(zao)箱適用於 1-12 英寸(cun)半(ban)導(dao)體(ti)晶(jing)圓(yuan)（矽基、碳(tan)化(hua)矽、氮化(hua)