上(shang)海(hai)喆圖科(ke)學(xue)儀(yi)器(qi)
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產品中心(xin)HMDS真空鍍(du)膜(mo)機(ji)幹(gan)燥箱(xiang)TDM系(xi)列真空鍍(du)膜(mo)機(ji)TDM系(xi)列真空鍍(du)膜(mo)幹(gan)燥箱(xiang)
產品型號(hao)：
更新時(shi)間(jian)：2025-11-18
廠商(shang)性(xing)質(zhi)：生產廠家(jia)
訪 問 量 ：2041
400-001-0304
產品分類
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HMDS預處理真空幹(gan)燥箱(xiang)
HMDS預處理真空幹(gan)燥箱(xiang)，又(you)稱TDM系列真空鍍(du)膜(mo)幹(gan)燥箱(xiang)，是壹(yi)種(zhong)專用(yong)於(yu)半(ban)導(dao)體(ti)、光(guang)電、微(wei)電子等領(ling)域中光(guang)刻(ke)前處理工(gong)藝(yi)的專(zhuan)用設(she)備。其(qi)主(zhu)要功能是在真空環(huan)境(jing)下(xia)將六(liu)甲基(ji)二(er)矽氮(dan)烷(wan)（HMDS, Hexamethyldisilazane）以(yi)蒸汽形式沈積(ji)於(yu)基(ji)材表面，從而(er)改(gai)善基(ji)材表面親水(shui)性(xing)，提高光(guang)刻(ke)膠(jiao)與基(ji)底的附著力(li)，確(que)保後(hou)續微(wei)圖形工(gong)藝(yi)的質(zhi)量與穩(wen)定性(xing)，喆圖預處理真空幹(gan)燥箱(xiang)適(shi)用(yong)於(yu) 1-12 英(ying)寸(cun)半導(dao)體(ti)晶圓（矽基(ji)、碳化矽、氮(dan)化鎵(jia)等）、MEMS 傳(chuan)感器(qi)基(ji)板(ban)、LED芯(xin)片(pian)襯底(di)、光(guang)學鏡(jing)片(pian)等高精(jing)度元(yuan)件(jian)的預處理，覆(fu)蓋集(ji)成電路(lu)制(zhi)造、*封(feng)裝(zhuang)、光(guang)電器(qi)件(jian)生(sheng)產、高校(xiao)科(ke)研(yan)等場(chang)景(jing)。
TDM系列真空鍍(du)膜(mo)幹(gan)燥箱(xiang)產品特(te)點
Ø 采用(yong)高效(xiao)真空系(xi)統，確(que)保HMDS處理在穩定、無(wu)氧(yang)、低濕環(huan)境中進行(xing)，避(bi)免(mian)水(shui)汽幹(gan)擾;
Ø 支(zhi)持矽片(pian)、玻(bo)璃片(pian)、藍(lan)寶(bao)石(shi)、ITO基板等材料的預處理，可根據客(ke)戶(hu)需(xu)求定制(zhi)托盤(pan)、樣品(pin)架；
Ø 腔體(ti)采用(yong)耐(nai)HMDS腐(fu)蝕(shi)的不銹鋼(gang)材質(zhi)，防止(zhi)氣(qi)體(ti)殘留(liu)腐(fu)蝕(shi)設(she)備(bei)，冷凝系(xi)統處理完畢(bi)後(hou)可自(zi)動排(pai)放或冷凝未反(fan)應(ying)的HMDS蒸(zheng)氣，保(bao)護環(huan)境(jing)和人員安(an)全;
Ø 觸(chu)摸屏控制(zhi)系統，可根據不同(tong)制(zhi)程條件改(gai)變程序、溫(wen)度、真空度(du)及每(mei)壹(yi)程序時間(jian)；
Ø PLC控制(zhi)系(xi)統具(ju)有(you)自(zi)動控(kong)溫(wen)、任意定時(shi)、超溫(wen)報(bao)警(jing)等,彩(cai)色(se)觸(chu)摸屏顯(xian)示，控(kong)溫(wen)準確(que)可靠(kao)；
Ø 具(ju)有(you)溫(wen)控模(mo)塊，腔體(ti)加熱(re)與基(ji)材加熱溫(wen)度均(jun)勻，確保HMDS蒸氣(qi)均(jun)勻分布並(bing)穩定沈(chen)積(ji)；
Ø 采用(yong)鋼(gang)化(hua)玻(bo)璃觀察(cha)窗，監測方便(bian)，壹體(ti)成型的矽橡(xiang)膠(jiao)門封(feng)，確(que)保箱(xiang)內(nei)密(mi)封(feng)性(xing)好(hao)；
Ø 腔體(ti)呈(cheng)立方體(ti)或長(chang)方體(ti)，棱角(jiao)分明，直角設(she)計增(zeng)強抗壓性(xing)能(neng)，內(nei)部空(kong)間(jian)利(li)用(yong)率(lv)高；
Ø 低真空鍍(du)膜(mo)工(gong)藝(yi)的密(mi)閉腔體(ti)結構(gou)，真空環(huan)境(jing)可控(kong)，確(que)保鍍(du)膜(mo)過程無(wu)汙染(ran)、無(wu)泄(xie)漏(lou);
Ø 承(cheng)載(zai)均勻塗(tu)布(bu)與多工(gong)藝(yi)集(ji)成，支(zhi)持蒸發(fa)、濺射、MBE、PLD等多工(gong)藝(yi)模(mo)塊的智(zhi)能(neng)融合；
Ø 采用(yong)鋼(gang)化(hua)玻(bo)璃觀察(cha)窗，監測方便(bian)，內膽不銹鋼(gang)，無(wu)易(yi)燃(ran)易(yi)爆裝(zhuang)置(zhi)，無發(fa)塵材料，壹體(ti)成型的矽橡(xiang)膠(jiao)門封(feng)，確(que)保箱(xiang)內(nei)密(mi)封(feng)性(xing)好(hao);
Ø 提供單腔、雙腔、四(si)腔等多規(gui)格腔體(ti)設計(ji)（四(si)腔機型(xing)支(zhi)持獨立控溫(wen)與工(gong)藝(yi)，產能提升4 倍(bei)）可根據客(ke)戶(hu)產能需求(qiu)定制(zhi)腔體(ti)尺寸(cun)與處理容量；
應(ying)用(yong)場(chang)景(jing) | 半導(dao)體(ti)制造(zao) | 1.工(gong)藝(yi)可控(kong)域：精(jing)密調(tiao)控(kong)溫(wen)度場(chang)、壓力梯(ti)度等； 2.技(ji)術覆(fu)蓋域：兼容多種(zhong)鍍(du)膜(mo)技(ji)術，適配(pei)多樣(yang)化(hua)生產。 |
光(guang)學器(qi)件(jian)鍍(du)膜(mo) | 1.光(guang)學鏡(jing)頭(tou)抗反(fan)射膜(mo)(AR)、紅外(wai)濾光(guang)片(pian)多層(ceng)膜(mo)； 2.激光(guang)器(qi)腔鏡(jing)高反(fan)射膜(mo)(HR)、分光(guang)膜(mo)。 | |
新能(neng)源(yuan)與新材料 | 1.鈣(gai)鈦礦(kuang)太(tai)陽(yang)能(neng)電池(chi)電(dian)極(ji)層(ceng)(ITO/Ag)沈(chen)積(ji)； 2.柔性(xing)顯(xian)示面(mian)板(ban)(OLED)透明導(dao)電膜(mo)(AZO)鍍(du)制(zhi)。 | |
工(gong)藝(yi)適配(pei) | 工(gong)藝(yi)類型(xing) | 物理(li)氣(qi)相沈(chen)積(ji)(PVD):磁(ci)控(kong)濺射、電(dian)弧離子鍍(du)、電(dian)子束(shu)蒸(zheng)發(fa)； 化學(xue)氣(qi)相沈(chen)積(ji)(CVD):等離子體(ti)增強(qiang)化(hua)學氣(qi)相(xiang)沈(chen)積(ji)(PECVD)。 |
鍍膜(mo)材料 | 金屬(Al、Cu、Ag)、氧(yang)化物(wu)(Al2O3 、TiO2)、氮(dan)化物(wu)(TiN、SiN)等。 | |
典型(xing)應(ying)用(yong) |
半導(dao)體(ti)代工(gong) | 應(ying)用(yong)場(chang)景(jing)：3nm邏輯(ji)芯(xin)片(pian)金屬互(hu)聯(lian)層(ceng)沈(chen)積(ji)； 客戶(hu)價(jia)值：提升芯(xin)片(pian)良(liang)率15%,降低電遷(qian)移失效(xiao)風(feng)險(xian)。 |
光(guang)學鏡(jing)頭(tou)制造(zao) | 應(ying)用(yong)場(chang)景(jing)：8K超高清鏡(jing)頭(tou)抗反(fan)射膜(mo)鍍(du)制(zhi)； 客戶(hu)價(jia)值：反(fan)射率(lv)<0.1%,透光(guang)率>99.5%(400-700nm波段)。 | |
鈣(gai)鈦礦(kuang)光(guang)伏 | 應(ying)用(yong)場(chang)景(jing)：大面積(ji)鈣(gai)鈦礦(kuang)電(dian)池(chi)電(dian)極(ji)層(ceng)連續鍍膜(mo)； 客戶(hu)價(jia)值：電池轉換效(xiao)率(lv)突(tu)破(po)26%,成本降低30%。 | |
航空(kong)航(hang)天 | 應(ying)用(yong)場(chang)景(jing)：衛星(xing)光(guang)學載(zai)荷(he)耐輻(fu)射保(bao)護膜(mo)沈(chen)積(ji)； 客戶(hu)價(jia)值：通(tong)過ISO-15860空間(jian)環境(jing)模(mo)擬認證(zheng)。 |
技(ji)術參數(shu)
型號(hao) | TDM-64V | TDM-90V | TDM-125V | TDM-215V |
電源(yuan)電(dian)壓 | AC 220V 50Hz | |||
控制(zhi)系(xi)統 | PLC智(zhi)能(neng)控制 | |||
儀表(biao)控(kong)制 | 彩色(se)觸(chu)摸屏 | |||
控溫(wen)範(fan)圍(wei) | RT+10-200℃ | |||
溫(wen)度分辨率(lv) | 0.1℃ | |||
溫(wen)度波(bo)動度(du) | ±0.1 | |||
真空度(du) | ≤133pa | |||
內膽尺寸(cun) | 400*400*400 |
| 500*500*500 | 550*550*650 |
容積(ji) | 64L | 90L | 125L | 210L |
載(zai)物托架(jia) | 2層(ceng) | 2層(ceng) | 3層(ceng) | 3層(ceng) |
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