HMDS預處(chu)理(li)真(zhen)空(kong)幹燥箱，又(you)稱TDM系(xi)列(lie)真(zhen)空(kong)鍍膜幹燥箱，是(shi)壹(yi)種專(zhuan)用(yong)於半(ban)導體、光電(dian)、微電(dian)子(zi)等(deng)領(ling)域中(zhong)光(guang)刻前(qian)處(chu)理(li)工(gong)藝(yi)的(de)專(zhuan)用(yong)設(she)備。其主(zhu)要功(gong)能(neng)是(shi)在(zai)真空(kong)環(huan)境(jing)下將(jiang)六(liu)甲(jia)基(ji)二(er)矽(gui)氮烷(wan)（HMDS, Hexamethyldisilazane）以蒸(zheng)汽形式沈積於基(ji)材表(biao)面(mian)，從(cong)而(er)改(gai)善(shan)基(ji)材表(biao)面(mian)親水(shui)性，提高光(guang)刻(ke)膠(jiao)與基(ji)底(di)的(de)附著(zhe)力(li)，確保(bao)後(hou)續微圖形工(gong)藝(yi)的(de)質量與穩(wen)定(ding)性，喆(喆)圖預處(chu)理(li)真(zhen)空(kong)幹燥箱適(shi)用於 1-12 英寸半(ban)導體晶圓(yuan)（矽(gui)基(ji)、碳(tan)化矽(gui)、氮化(hua)